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진공증착기 (원자층 증착시스템) / Thermal ALD(Atomic Layer Deposition) System

equipment explanation
Model ATSepi-R
Operating time 01:00 ~ 24:00
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 진공증착기(원자층 증착기)는 산화물을 원자단위의 두께로 증착하는 장비이다. 유전체인 산화물은 나노공정에서 필수적인 역할을 하는데 이 두께를 정밀한 단위로 증착할 수 있는 유용한 장비이다.

 

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