IBS Institute for Basic Science
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진공증착기 / Thermal Chemical Vapor Deposition

equipment explanation
Model 제작
Operating time 01:00 ~ 01:00
inquiry

 quartz tube, heating chamber, vacuum valve, MFC controller, vacuum pump, gas bottles 등으로 구성되어 있으며 room temperature 에서 1200도 정도까지 heating 가능, 진공도 10^-3 torr.