IBS Institute for Basic Science
Search
Home Print Page

진공증착기 / Adaptive Co-Evaporation

equipment explanation
Model
Operating time 01:00 ~ 24:00
inquiry
Reservation

 Electron-beam 을 이용한 여러 물질박막 증착 장비로, 기존의 박막을 형성하는 기능으로도 사용되나, 두개의 e-beam gun으로 두가지 타겟을 한번에 증착시킬 수 있는 장비이다.

LIST