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진공증착기(플라즈마 강화 원자층 증착 시스템) / PEALD System

equipment explanation
Model PEALD-150S
Operating time 01:00 ~ 24:00
inquiry

진공증착기(플라즈마) PEALD-150S 장비는 플라즈마를 이용해서 박막을 증착하는 장비이다. 박막의 두께를 원자층 단위로 정밀하게 증착할 수 있어서 나노공학과 반도체공학에 필수적인 장비이다.

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