IBS Institute for Basic Science
Search
Home Print Page

진공증착기 (두개 전자빔 동시 증발증착 시스템) / Adaptive Co-Evaporation System

equipment explanation
Model
Operating time 01:00 ~ 24:00
inquiry

 2개의 e-beam gun을 이용하여, 두 물질을 동시에 증착가능하며, 또한, thermal evaporation pocket 이 1개 장착되어, theramal로 증착이 유리한 물질 또한 증착 가능하다.

LIST