IBS Institute for Basic Science
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반도체소자 실험장비 (광결합 진공챔버 프루브 스테이션) / Optically Coupled Vacuum Probe System

equipment explanation
Model M66VCFM Vacuum Chamber
Operating time 01:00 ~ 24:00
inquiry

 상단에 부착된 현미경을 통하여 위치를 확인하면서, X-Y축 레버를 이용하여 측정하고자 하는 칩의 위치로 웨이퍼를 이동시키고, 탐침봉이 부착된 Manipulator를 이용하여 탐침봉을 측정하고자 하는 칩의 위치로 미세조정을 한다.

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