IBS Institute for Basic Science
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반도체소자 실험장비 (환경제어 진공챔버 프루브스테이션) / Environment Control Vacuum Probe Station

equipment explanation
Model G64VC Vacuum Chamber
Operating time 01:00 ~ 24:00
inquiry

 탐침봉이 부착된 Manipulator를 이용하여 탐침봉을 측정하고자 하는 칩의 위치로 미세조정을 한 후, 테스터기로부터 인가된 전기적 신호를 Manipulator를 통하여 칩에 보내어 측정대상 칩의 양불량을 검사한다.

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