Center for Relativistic Laser Science

1) PC 제어형 Sample 증착 Substrate & Controller
- 시료와 장비 내부 히터 표면과의 접촉 간격이 1um 이 내, 0.1% 이내 접촉 면적 에러율 구조
- 장착 가능한 시료는 1, 2, 3, 및 4”까지 사용 가능한 sample stage 필요,
- 온도 범위는 -200도에서 500도까지 사용한 가능한 광대역 온도 영역,
- 회전 및 선형 이송이 가능한 구조
- Thickness sensor 장착형 포트 및 연결 chuck 보유
- Spring 형 sample mounting type

2) Miniature automatic slide형 Load lock
- Linear LM guide형 servo motor 제어 가능 및 최대 이송거리 800mm 및 크기는 580(l)x 250(w) x 130(h)mm3  내로 제작.
- 시료 장착시, automatic 제어와 PC형 수동 제어가 가능한 PLC 구조
- 시료 크기는 최대 4인치
- 시료 위치 재현성을 위한 위치 센서 부착
- 시료의 존재 및 장착 확인을 위한 구조
- 장착 에러 발생시, 수동 제어 가능한 구조

※ 공동활용에 문제가 있으면, 장비심의관리위원장 또는 행정실로 연락주시기 바랍니다.